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NRL180A爱发科干式真空泵

更新时间:2020/10/29 9:51:35信息编号:2046-2217908
所属分类:
跳蚤市场 工程机械 
所在区域:
上海 浦东
详细地址:
松江区久富路228号
联 系 人:
李经理
电  话:
15900647838
联系QQ:
联系QQ 1006524162
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详细介绍

NRL180A爱发科干式真空泵


品牌:爱发科(ulvac)
型号:NRL180A
抽速 (50 Hz):200 L/min
抽速 (60 Hz):240 L/min
极限压力 Pa:5
电机额定功率:7.5 kw


特长

NRL系列在低温领域下的均热化XBiC。除PVD工艺外,尤其适用于希望提高流量,缩短排气时间的重要工艺腔体的排气。

低噪音、低振动

优良的耐腐蚀性

标准零部件采用高硬度并经过优异的防腐蚀特殊表面处理,降低对腐蚀性气体排气时泵体内部的腐蚀程度www.99xinxi.net99信息网

选购件

可选购消音器、冷却水流量开关、氮气流量开关、泵温传感器。


用途

•   活性气体(CVD、刻蚀等)9~9~信~息~网

•   排出非活性气体(溅射镀膜、   蒸气镀膜、热处理、液晶注入等)。

•   用于产生粉尘工艺中的排气(Si单晶炉等)

•   作为前级泵使用(涡轮式分子泵、机械罗茨泵的前级泵)9_9_信_息_网

•   冷冻干燥等水蒸气排气。


技术参数

NRL180A爱发科干式真空泵 技术参数


* 1   极限压力是氮气(密封气体)在5.0 SLM时的值9.9.x.i.n.x.i.n.e.t
* 2   无结露。
* 3   用调节阀所调整的压力表的值9~9~x~i~n~x~i~n~e~t
* 4   氮气(密封气体)流量5.0 SLM是固定值。



外形尺寸图

NRL180A爱发科干式真空泵 尺寸图


抽速曲线图

NRL180A爱发科干式真空泵 抽速曲线图


温馨提示:NRL180A爱发科干式真空泵”由用户自行发布,信息内容的真实性、准确性和合法性由发布人负责。虽然部分网友认证了账号,但是并不代表没有风险。99信息网不提供任何保证不参与交易,亦不承担任何法律责任。
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